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射芯装置(T/CI2023)-10页

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射芯装置(T/CI2023)-10页

资料简介

本文件规定了射芯装置的术语和定义、主要参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装及储运。本文件适用于射芯装置的制造。