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集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法(T/JS2021)7页

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集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法(T/JS2021)7页

资料简介

本文件规定了集成电路生产制造过程中废硫酸综合利用的技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、包装、运输、贮存、安全。本文件适用于集成电路生产制造过程中废硫酸的综合利用。