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大型高真空装置涉真空部件检漏测试方法(T/AV2020)14页

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大型高真空装置涉真空部件检漏测试方法(T/AV2020)14页

资料简介

本文件规定了大型高真空装置涉真空部件的真空等级分类、检漏测试的总体要求、检漏系统及方法、各级真空部件检漏流程以及测试报告。本文件适用于粒子加速器、核聚变装置、空间模拟器等大型复杂高真空装置上涉真空部件的真空密封性能测试,指导部件质量验收与漏孔修复。