返回

无纺布_聚氨酯复合抛光垫(T/2021)9页

搜索
推荐 最新 热门

无纺布_聚氨酯复合抛光垫(T/2021)9页

资料简介

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫(以下简称抛光垫)的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫,用于硅晶片、LCD 基片及玻璃面板,蓝宝石衬底等材料的抛光,还可应用于 ITO 导电玻璃、玻璃基片、光掩模及 LCD 面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。